معدات ترسيب الطبقات الذرية (ALD) من سلسلة HCALD

المسائل المتعلقة بالمحاكمة الجنائية والمصوفة مسبقا ترسيب الذرية الذرية المعززة بالبلازما عالية السعة (PEALD) مع نظام التبريد المتصل بالشبكات وبرنامج التحكم ALD المتخصص. إنها تتيح التشغيل الكامل مع تكلفة منخفضة للسلائف ووحيدة ومطابقة الفيلم بشكل ممتاز. ALD (ترسيب الذرة الذرية) هي تقنية متطورة لتسرب الخمر للسباحة تسمح بالتحكم في وقت النوم في نمو الفيلم على سطح التركيز على المستوى الذري. من خلال عدم اعتراض سلائف الضوء الواضح، تحدث تفاعلات سطحية ذاتية التحديد، مما يؤدي إلى ترسيب مختلف آخر لتكوين غشاء رقيق. تقدم ALD مزايا كبيرة مقارنة بتقنيات الترسيب التقليدية، خاصة في توحيد سمكة الفيلم وتغطية المكونات الشكل ذات العقد. إنها شاملة بشكل موحد للغاية، حتى على حسب حجمها أو اختلافها.
يتم استخدامه على نطاق واسع في العدسات البصرية، ومصابيح Micro/MiniLED، والطاقة، وOLED، وMEMS، والتعبئة المتقدمة، وما إلى ذلك.

التطبيق

بصري: فيلم مضاد للانعكاس (بدون شبح أو نسيج)، فيلم عاكس عالي (T < 0.1%)، حاجز للعدسة، جهاز شبكي/ طلاء سطحي منحني.

أشباه الموصلات: الطبقة التخميلية للطباعة، اللغة الكندية، اللغة الكندية، الطبقة الثنائية، إلخ.

الخلايا الكهروضوئية: التخميل، قطعة قماش موصلة، نسيج بخار الماء، نقل الإلكتروني، نقل الثقب، إلخ.

إلكترونيات الكهروميكانيكية الدقيقة/المستشعر: طبقة عازلة، ورق حائط دخاني، سيارة بخارية مقاومة للماء/محبة مضادة للماء.